Trockene Vakuumpumpe

ULVAC Model LR600

Hier bieten wir eine ULVAC Trockenvakuumpumpe an.
ULVAC Trockenvakuumpumpe
Lösung für raue Prozesspumpen
Trockene Vakuumpumpe
ULVACs einzigartiger Ansatz zur Nutzung der latenten Wärme im
Pumpenkörper ermöglicht es der LR / HR / UR-Serie,
selbst bei strengsten Prozessen eine Leistung zu erbringen.
ULVAC hat seine Konstruktionsbemühungen auf die Aufrechterhaltung
einer extrem gleichmäßigen hohen Temperatur über alle Pumpenstufen konzentriert
und diese Pumpenfamilie für CVD- und Ätzanwendungen optimiert.
Kompatibel mit dem ECO-SHOCK-System von ULVAC für zusätzliche Energieeinsparungen
Eigenschaften
Die Pumpe der LR-Serie ist für Ladeschleusenkammern und PVD-Prozesse ausgelegt.
Das einzigartige Aluminiumdesign von ULVAC ermöglicht eine sehr gleichmäßige Temperaturverteilung im gesamten Pumpenkörper:
Die Pumpe der ULVAC LR-Serie ist für Anwendungen konzipiert, die eine beheizte Pumpe, beheizte Gasleitungen und / oder beheizte Abgasleitungen erfordern
Hervorragendes Helium-Pumpvermögen
Konservenmotor für Sicherheit und Wartungsfreundlichkeit
Hält Stromunterbrechungen von bis zu 500 ms stand.
Interne Komponenten werden speziell behandelt, um ein hohes Maß an Oberflächenhärte und eine hervorragende Korrosionsbeständigkeit zu gewährleisten.
Dies verhindert den Verschleiß interner Pumpenteile, wenn diese korrosiven Gasen ausgesetzt sind.
(Serie LR)
Entwickelt für Prozessgase, die pulverförmige Nebenprodukte erzeugen, wie z. B. Si-Kristallwachstumsöfen
Vorpumpe für turbomolekulare und mechanische Druckerhöhungspumpen
Typ: LR600
Zustand: neu / new
Lieferumfang: (Siehe Bild)
(Änderungen und Irrtümer in den technischen Daten, Angaben sind vorbehalten!)
Weitere Fragen können wir gerne am Telefon für Sie beantworten.
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