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Wafer-Nassbehandlungsanlage
Robotechnik Europe OPTIwet ST30

Zustand
Gebraucht
Standort
Deutschland Deutschland
Wafer-Nassbehandlungsanlage Robotechnik Europe OPTIwet ST30
Wafer-Nassbehandlungsanlage Robotechnik Europe OPTIwet ST30
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Daten zur Maschine

Maschinenbezeichnung:
Wafer-Nassbehandlungsanlage
Hersteller:
Robotechnik Europe
Modell:
OPTIwet ST30
Zustand:
einsatzbereit (gebraucht)

Preis & Standort

Standort:
Deutschland Deutschland
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Details zum Angebot

Inserat-ID:
A20618495
Referenznummer:
INNO30389
Aktualisierung:
zuletzt am 26.11.2025

Beschreibung

Anlage zur nasschemischen Behandlung von Wafern bis 12in, Substraten bis X/Y 9in/9in, Stand-Alone-Gehäuse, Prozessmodule, PP-Prozesskammer, 2 prog. Medienarme, Drehzahl 1-4000U/min, Beschleunigungsrampe 1-3000U/min, Spin-Zeit 1-999s, Abluft Prozessbowl 2x DN110, Kammer 2x DN110, Gehäuse 1x DN110, Steuerung 1x DN110 (je 200m³/h), CDA 8+/-2bar, Vakuum -0,8+/-0,2bar, Stickstoff 4,0+/-0,5bar, 3 Medienabläufe, Abfallkiste für 2 Konzentratabfälle, Reagenzienkiste mit Druckbehälter, 4 Julabo-Thermostatbäder. Die Anlage wurde beim Abbau zerlegt. Besichtigung nach Absprache möglich.
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Registriert seit: 2017

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